根據(jù)有關(guān)研究報告顯示,半導(dǎo)體清洗設(shè)備的市場規(guī)模有望由2020年的74億美元增長到2025年的121億美元,復(fù)合增長率達(dá)10.3%,遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過半導(dǎo)體設(shè)備的復(fù)合增長率??梢姡磥砬逑丛O(shè)備還有很大的增長空間。隨著超純水需求量的增加,微電子產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,將大大促進(jìn)超純水工業(yè)的發(fā)展。
超純水的品質(zhì)與半導(dǎo)體的良品率直接相關(guān),在電子元件的生產(chǎn)過程中,不管是清洗用水、溶液、漿料,都要采用超純水。集成電路的生產(chǎn)工藝是蝕刻和清洗反復(fù)進(jìn)行,清洗是半導(dǎo)體加工過程中的一個重要環(huán)節(jié),其目的就是清洗可能存在于原材料或半成品中的雜質(zhì)。由于半導(dǎo)體元件體積小、精度高,對超純水水質(zhì)的技術(shù)要求也越來越高,在超純水的生產(chǎn)過程中,只要微粒子、電阻率、TOC以及氣泡中一個指標(biāo)出現(xiàn)略微差異,都會使半導(dǎo)體元件的合格率下降。
超純水是將水中導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全除去,又能使水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體和有機(jī)物去除到非常低程度的水。其電阻率超過18MΩ·cm,接近18.3MΩ·cm極限值。萊特萊德采用獨(dú)特的靶向離子交換系統(tǒng),對超純水中難于處理的硼和其它離子進(jìn)行定向去除,保證出水硼離子能夠穩(wěn)定≤5ppt。
萊特萊德為用戶提供優(yōu)質(zhì)的超純水,更好的提高了芯片的良品率。萊特萊德超純水系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于電子芯片、集成電路及封裝、二極管、三極管、傳感器、電子級氫氟酸、電子級硫酸、電子級雙氧水、電子級氨水、高精度線路板、光伏、TFT玻璃基板、晶圓、石英管、超白玻璃、科研、航空航天、高精尖儀表、珠寶加工等領(lǐng)域。
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